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《微细加工技术》创刊于1983年，是国家科委和国家新闻出版署批准，国内外公开发行的中央级重要科技期刊。是国家一级检索刊物，已连续9年被美国工程信息公司Ei数据库收录，是《中国期刊网》、《中国学术期刊（光盘版）》、《中国学术期刊综合评价数据库》全文收录用刊，是《中国科学引文数据库》来源期刊。
《微细加工技术》杂志现已停刊，具体复刊时间以杂志社消息为准。
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| 学者姓名 | 发文量 | 主要研究主题 |
| 蔡炳初 | 31 | 心微机电系统；MEMS；微驱动器；微机械；形状记忆合金 |
| 赵小林 | 27 | 心微机电系统；MEMS；微机械；电磁驱动；射频 |
| 丁桂甫 | 21 | 心微机电系统；MEMS；双稳态；碳纳米管；微结构 |
| 顾文琪 | 18 | 心电子束曝光机；聚焦离子束；电子束曝光；液态金属离子源；图形发生器 |
| 张玉林 | 17 | 心电子束；微机电系统；电子束光刻；抗蚀剂；电子束曝光 |
| 姚汉民 | 15 | 心光刻；光子晶体；投影光刻物镜；光刻技术；光刻机 |
| 杨春生 | 15 | 心MEMS；微机电系统；电极；PARYLENE；压电 |
| 陈宝钦 | 15 | 心电子束光刻；电子束曝光；电子束；电子束直写；抗蚀剂 |
| 冯伯儒 | 15 | 心光刻；相移掩模；干涉光刻；光刻技术；光刻系统 |
| 徐东 | 15 | 心碳纳米管；形状记忆合金；微驱动器；MEMS；微泵 |
| 机构名称 | 发文量 | 主要研究主题 |
| 上海交通大学 | 126 | MEMS；微机电系统；机电系统；电系统；刻蚀 |
| 中国科学院 | 71 | 光刻；光刻机；投影光刻；掩模；投影光刻机 |
| 中国科学院电工研究所 | 65 | 电子束曝光；电子束曝光机；曝光机；光刻；图形发生器 |
| 清华大学 | 61 | 微细；微细加工；离子束；聚焦离子束；光刻 |
| 中国科学技术大学 | 48 | 刻蚀；衍射；离子束；离子束刻蚀；光刻 |
| 电子工业部 | 43 | 离子注入；注入机；离子注入机；半导体；半导体器件 |
| 中国科学院微电子研究所 | 38 | 光刻；掩模；X射线光刻；电子束曝光；电子束 |
| 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 33 | 光刻；光栅；传感；多层膜；刻蚀 |
| 山东大学 | 29 | 电子束；电子束曝光；电子束曝光机；曝光机；电子束光刻 |
| 山东工业大学 | 29 | 电子束曝光；电子束曝光机；曝光机；电路；电子束 |
| 主题名称 | 发文量 | 相关发文学者 |
| 光刻 | 152 | 姚汉民；冯伯儒；李艳秋；谢常青；胡松 |
| 离子注入 | 105 | 张通和；杨建华；颜亨迪；张荟星；陈林 |
| 电子束曝光 | 78 | 顾文琪；陈宝钦；张福安；陈振生；薛虹 |
| 刻蚀 | 75 | 徐向东；蔡炳初；田扬超；朱效立；丁桂甫 |
| 半导体 | 72 | 郭华聪；覃志国；张鹏飞；程仲元；颜亨迪 |
| 电路 | 67 | 姚汉民；冯伯儒；郭华聪；覃志国；陈旭南 |
| 微细 | 65 | 王振龙；赵万生；俞学东；王学超；伊福廷 |
| 集成电路 | 61 | 姚汉民；冯伯儒；郭华聪；覃志国；陈旭南 |
| 微细加工 | 59 | 俞学东；王学超；伊福廷；毕建华；周光亚 |
| 曝光机 | 56 | 陈振生；顾文琪；魏守水；张福安；薛虹 |
| 资助项目 | 涉及文献 |
| 国家自然科学基金 | 249 |
| 国家高技术研究发展计划 | 65 |
| 国家重点基础研究发展计划 | 54 |
| 国家重点实验室开放基金 | 20 |
| 国家教育部博士点基金 | 18 |
| 中国科学院知识创新工程 | 15 |
| 山东省自然科学基金 | 11 |
| 中国博士后科学基金 | 10 |
| 上海市自然科学基金 | 8 |
| 山东省科技攻关计划 | 7 |
| 资助课题 | 涉及文献 |
| 山东省自然科学基金(Y2003G03) | 7 |
| 国家自然科学基金(90307003) | 7 |
| 国家重点基础研究发展计划(2003CB716204) | 7 |
| 国家自然科学基金(60236010) | 4 |
| 国家自然科学基金(90201025) | 4 |
| 国家自然科学基金(90301002) | 4 |
| 国家自然科学基金(60376020) | 4 |
| 国家重点基础研究发展计划(2005CB724305) | 3 |
| 国家高技术研究发展计划(2006AA03Z355) | 3 |
| 国家自然科学基金(50390064) | 3 |
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微细加工技术杂志杂志是一本具有 双刊号 的期刊，微细加工技术杂志杂志的国内刊号是：43-1140/TN，国际刊号是：1003-8213
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